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瑞士INFICON射頻傳感器技術(shù)為半導(dǎo)體加工工具提供高精度，寬帶，頻率判別的射頻測(cè)量。該RF數(shù)據(jù)可提供有關(guān)工藝開發(fā)和生產(chǎn)過程問題的實(shí)際等離子體條件的詳細(xì)信息，從而顯著降低工藝可變性。 這款非侵入式在線電纜安裝RF傳感器是新的優(yōu)良過程控制原位傳感器套件，  與FabGuard傳感器集成和分析系統(tǒng)相結(jié)合 提供關(guān)鍵的診斷信息，例如的腔室和過程功率和阻抗測(cè)量，故障的根本原因分析（例如匹配網(wǎng)絡(luò)問題），腔室匹配的過程指紋識(shí)別以及PVD，CVD和蝕刻應(yīng)用中的晶圓計(jì)量建模。

采用FabGuard的INFICON射頻傳感器技術(shù)可生成高精度模型，通過測(cè)量和執(zhí)行基波和諧波電壓和電流（包括相角測(cè)量）的分析來預(yù)測(cè)晶圓計(jì)量結(jié)果，因此工程師能夠控制每個(gè)晶圓處理過程中的實(shí)際晶圓結(jié)果。現(xiàn)在，F(xiàn)abGuard的強(qiáng)大算功能與RF傳感器技術(shù)相結(jié)合，可基于通過易于理解的用戶界面提供的實(shí)時(shí)測(cè)量和相關(guān)性，顯著提高半導(dǎo)體工藝的可重復(fù)性，穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

環(huán)境給INFICON RFS100射頻傳感器影響主要有以下幾個(gè)方面：

1. 高溫環(huán)境對(duì)傳感器造成涂覆材料熔化、焊點(diǎn)開化、彈性體內(nèi)應(yīng)力發(fā)生結(jié)構(gòu)變化等問題。對(duì)于高溫環(huán)境下工作的傳感器常采用耐高溫傳感器；另外，必須加有隔熱、水冷或氣冷等裝置。

2. 粉塵、潮濕對(duì)傳感器造成短路的影響。在此環(huán)境條件下應(yīng)選用密閉性很高的傳感器。不同的傳感器其密封的方式是不同的，其密閉性存在著很大差異。

   常見的密封有密封膠充填或涂覆；橡膠墊機(jī)械緊固密封；焊接（氬弧焊、等離子束焊）和抽真空充氮密封。

   從密封效果來看，焊接密封為佳，充填涂覆密封膠為差。對(duì)于室內(nèi)干凈、干燥環(huán)境下工作的傳感器，可選擇涂膠密封的傳感器，而對(duì)于一些在潮濕、粉塵性較高的環(huán)境下工作的傳感器，應(yīng)選擇膜片熱套密封或膜片焊接密封、抽真空充氮的傳感器。

3. 在腐蝕性較高的環(huán)境下，如潮濕、酸性對(duì)傳感器造成彈性體受損或產(chǎn)生短路等影響，應(yīng)選擇外表面進(jìn)行過噴塑或不銹鋼外罩，抗腐蝕性能好且密閉性好的傳感器。

4. 電磁場對(duì)傳感器輸出紊亂信號(hào)的影響。在此情況下，應(yīng)對(duì)傳感器的屏蔽性進(jìn)行嚴(yán)格檢查，看其是否具有良好的抗電磁能力。

5. 易燃、易爆不僅對(duì)傳感器造成*性的損害，而且還給其它設(shè)備和人身安全造成很大的威脅。因此，在易燃、易爆環(huán)境下工作的傳感器對(duì)防爆性能提出了更高的要求：在易燃、易爆環(huán)境下必須選用防爆傳感器，這種傳感器的密封外罩不僅要考慮其密閉性，還要考慮到防爆強(qiáng)度，以及電纜線引出頭的防水、防潮、防爆性等。

INFICON RFS100射頻傳感器特征：

• CVD應(yīng)用

     - 晶圓計(jì)量建模（薄膜應(yīng)力，薄膜厚度）

     - 真正的處理室輸出功率的有功功率控制

     - FDC（例如等離子體不穩(wěn)定，充電）

     - 室內(nèi)匹配（RF指紋）

• PVD應(yīng)用

     - 晶圓計(jì)量建模（電阻率）

     - FDC

     - 室內(nèi)匹配（RF指紋）

• 蝕刻應(yīng)用

     - 晶圓計(jì)量建模（蝕刻速率）

     - 真正的處理室輸出功率的有功功率控制

     - FDC

     - 室內(nèi)匹配（RF指紋）

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